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金剛石薄膜的發(fā)展,制備及應用

更新時間:2009-11-04      點擊次數(shù):3992

簡要介紹了金剛石薄膜的發(fā)展,總結(jié)了金剛石薄膜的幾種主要制作工藝,并對各種工藝的優(yōu),缺點進行了分析.結(jié)合對金剛石應用的討論,闡述了金剛石薄膜在工業(yè)領(lǐng)域中的應用前景和發(fā)展趨勢.

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