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單晶爐需要控制的方面

更新時(shí)間:2011-07-04      點(diǎn)擊次數(shù):3417
       單晶爐需要控制的方面

       單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

          一、晶體直徑   

          二、溫度   

          三、原料   

          四、泄漏率,氬氣質(zhì)量等   

        

深圳市利方達(dá)科技有限公司

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