INFICON半導(dǎo)體傳感器采用了一系列過程傳感技術(shù)，包括殘余氣體分析、光發(fā)射光譜測量法、石英晶體微天平（膜厚儀）、檢漏儀、壓力計和射頻測量。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷進(jìn)步，市場對芯片的需求不斷增加，弄清楚氣體和等離子體如何與周圍環(huán)境相互作用比以往任何時候都更加重要。無論是在加工過程中進(jìn)行測量以確保產(chǎn)品安全和質(zhì)量，還是在腔室清潔或工具維護(hù)過程中進(jìn)行測量以盡量減少停機(jī)時間，或者監(jiān)測減排系統(tǒng)以減少溫室氣體的排放，INFICON都是您不錯的選擇。INFICON提供各種類型的傳感器，您可以根據(jù)具體應(yīng)用場景進(jìn)行定制。

INFICON傳感器適用于全半導(dǎo)體制造周期。通過準(zhǔn)確測量氣體成分，支持早期階段的研究和開發(fā)、前段制程/后段制程生產(chǎn)，以及subfab和全廠范圍內(nèi)的設(shè)施性能。應(yīng)用范圍涵蓋后端潔凈室模具分揀和組裝，從而提高過程控制效率和生產(chǎn)力，實現(xiàn)高質(zhì)量、可靠制造，以及最大生產(chǎn)力和高效率的運(yùn)行。

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