熱烈祝賀中國(guó)臺(tái)灣日揚(yáng)Htc插板閥等超高真空閥門在MBE設(shè)備上批量使用！

超高真空閘閥-UHV gate valve的組成主要由三個(gè)組件組成分別為驅(qū)動(dòng)器,閥車/閥門與閥體。Htc日揚(yáng)真空(Htc Vacuum)

所提供的閘閥可分成應(yīng)用于高真空與超高真空兩大類, 用于超高真空系統(tǒng)使用的閘閥是屬旋轉(zhuǎn)式直線作動(dòng)。藉手動(dòng)或氣動(dòng)的

驅(qū)動(dòng)閥桿來(lái)驅(qū)動(dòng)真空閥門齒輪以達(dá)閘門之開(kāi)闔功能。真空閘閥含有波紋管與無(wú)波紋管。接口端可配置KF, ISO, ANSI, JIS與CF法蘭。

Htc日揚(yáng)真空(Htc Vacuum)設(shè)計(jì)的所有系列真空閘閥適用于真空排氣系統(tǒng)，超高真空應(yīng)用的抽氣系統(tǒng)，半導(dǎo)體技術(shù)，同步幅射中

心與學(xué)術(shù)研究系統(tǒng)等。

Htc日揚(yáng)真空所提供的真空閘板閥又分為手動(dòng)式與氣動(dòng)式擋板閥兩種具的制造精度和穩(wěn)定品質(zhì)，因而可滿足各種高真空與超高真空

的設(shè)備制程環(huán)境。這些真空閘閥還可配合與低溫泵、分子泵或任何須要極度潔凈高生命周期及低維護(hù)的制程。Htc日揚(yáng)真空可提供

的各式接口法蘭，如KF、ISO、ANSI、CF的真空閘閥。亦可提供特制規(guī)格真空閘板閥之制作。

真空閘閥閥體精密焊接制造, 受力均勻、密封可靠、結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高的材料和使用真空環(huán)境要求, 達(dá)到高真空、超高真空、超潔

凈、超長(zhǎng)使用壽命。