LINXON  LCMO25電容膜片真空計

技術(shù)參數(shù)

• 測量范圍：滿量程為 1 至 1000 托1。

• 精度：未明確指出，但具有高精度測量的特點(diǎn)，可滿足一般工業(yè)和科研中的真空壓力測量需求1。

• 穩(wěn)定性：具有長期信號穩(wěn)定性，能在長時間使用過程中保持測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性1。

• 響應(yīng)速度：電源接通后可快速穩(wěn)定，暴露于大氣后能快速恢復(fù)測量，可快速準(zhǔn)確地反映壓力變化1。

特點(diǎn)

• 先進(jìn)的數(shù)字電子設(shè)備：采用先進(jìn)的數(shù)字電子技術(shù)，不僅提高了壓力計的性能，還具備易于操作的特點(diǎn)，如一鍵調(diào)零功能，方便用戶在使用過程中快速校準(zhǔn)1。

• 耐腐蝕陶瓷傳感器：其超純陶瓷傳感器具有耐腐蝕的特性，可延長傳感器的使用壽命，同時提供了出色的零穩(wěn)定性，即使經(jīng)過數(shù)百萬次的壓力循環(huán)，包括暴露在大氣中的突發(fā)情況，仍能保持良好的性能1。

• 傳感器屏蔽：傳感器屏蔽設(shè)計可以保護(hù)壓力計免受工藝污染，確保測量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性，使其適用于各種復(fù)雜的工業(yè)環(huán)境。

• 堅固的機(jī)械設(shè)計和數(shù)字電子技術(shù)：兩者的結(jié)合提高了電磁兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償能力，使其在不同的工作環(huán)境和溫度條件下都能穩(wěn)定工作，減少了因環(huán)境因素導(dǎo)致的測量誤差。

• 其他特點(diǎn)：具備寬范圍電源，可適應(yīng)多種電源輸入；帶有 RS232 接口，方便與其他設(shè)備進(jìn)行數(shù)據(jù)傳輸和通信；符合無塵室使用標(biāo)準(zhǔn)，可在對清潔度要求較高的環(huán)境中使用1。

使用方法

1. 安裝：根據(jù)實際應(yīng)用場景和測量需求，選擇合適的安裝位置和連接方式，確保壓力計與被測系統(tǒng)之間的連接緊密、無泄漏。通?？蛇x擇 KF 或 CF 等標(biāo)準(zhǔn)真空連接接口進(jìn)行安裝。

2. 連接電源和通信接口：將壓力計的電源線連接到合適的電源上，確保電源電壓符合壓力計的要求。同時，如需要與外部設(shè)備進(jìn)行通信，可將 RS232 接口與相應(yīng)的設(shè)備連接好。

3. 校準(zhǔn)：在使用或長時間使用后，可能需要進(jìn)行校準(zhǔn)?？墒褂靡阎獦?biāo)準(zhǔn)壓力的校準(zhǔn)設(shè)備，按照操作手冊中的步驟進(jìn)行校準(zhǔn)，通?？赏ㄟ^一鍵調(diào)零功能和其他校準(zhǔn)設(shè)置來調(diào)整壓力計的測量精度。

4. 測量與數(shù)據(jù)記錄：安裝和校準(zhǔn)完成后，打開電源，壓力計將自動進(jìn)行初始化和自檢，待穩(wěn)定后即可開始測量。在測量過程中，可根據(jù)需要定期記錄測量數(shù)據(jù)，如需實時傳輸數(shù)據(jù)至其他設(shè)備進(jìn)行分析和處理，可通過 RS232 接口實現(xiàn)。

應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，對真空環(huán)境的精確控制和測量至關(guān)重要，如化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、離子注入等工藝都需要高精度的壓力測量，LINXON LCM 025 電容壓力計可提供準(zhǔn)確的壓力測量數(shù)據(jù)，確保工藝的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

• 真空鍍膜：用于光學(xué)薄膜、電子薄膜等真空鍍膜設(shè)備中，準(zhǔn)確測量鍍膜過程中的真空壓力，有助于控制鍍膜的厚度、均勻性和質(zhì)量，提高鍍膜產(chǎn)品的性能和可靠性。

• 科研實驗：在物理、化學(xué)、材料等領(lǐng)域的科研實驗中，常常需要對真空系統(tǒng)中的壓力進(jìn)行精確測量和控制，如在高真空實驗、低溫物理實驗、表面科學(xué)研究等方面，該壓力計可滿足實驗對真空壓力測量的高精度要求。

• 工業(yè)真空設(shè)備：在各種工業(yè)真空設(shè)備中，如真空干燥設(shè)備、真空包裝設(shè)備、真空冶煉設(shè)備等，可實時監(jiān)測設(shè)備內(nèi)部的真空壓力，確保設(shè)備的正常運(yùn)行和生產(chǎn)效率。