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真空涂層試用!| WEH®和NFH®涂層的案例分享

更新時(shí)間:2025-08-19      點(diǎn)擊次數(shù):564

真空涂層xianshimianfei試用!| WEH®和NFH®涂層的案例分享

真空涂層試用!| WEH®和NFH®涂層的案例分享


WEH®和NFH®涂層是日揚(yáng)研制的兩款真空納米涂層,專門針對(duì)解決半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)之中,真空系統(tǒng)制程設(shè)備以及零部件中的腐蝕、堵塞難題。延長(zhǎng)設(shè)備和零件的使用壽命和維護(hù)/更換周期,以提高產(chǎn)線稼動(dòng)率, 達(dá)到大幅降低成本的目的。

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真空納米涂層的優(yōu)點(diǎn)

-WEH®和NFH®的特點(diǎn)-

• 納米級(jí)材料,可均勻且牢固附著基材表面。

• 強(qiáng)疏水性,接觸角高達(dá)106°,不易粘附粉塵。

• 耐腐蝕性,有優(yōu)秀的耐強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性能。

• 耐高溫性,可在400℃環(huán)境下保持優(yōu)良性能。

• 性能穩(wěn)定,經(jīng)等離子束轟擊測(cè)試可保證低蝕刻率。不參與制程環(huán)境反應(yīng)。對(duì)水分、腐蝕性氣體的阻隔性能優(yōu)異,通過5B硬度測(cè)試,耐刮擦,這些穩(wěn)定性能使該涂層壽命更久。


WEH®和NFH®涂層的比較

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1.WEH®涂層:相對(duì)來(lái)說成本更低,加工工序更加簡(jiǎn)單,適合大面積涂裝,并已在zhiming半導(dǎo)體廠商MOCVD、ALD、AI-Pad等制程中應(yīng)用,主要涂裝在真空泵、管道、閥門等零件之中。

2.NFH®涂層:不含氟,對(duì)環(huán)境和人員友好,不會(huì)產(chǎn)生PFCS、PFAS等副產(chǎn)物,適用于歐美環(huán)保標(biāo)準(zhǔn);可替代現(xiàn)流行的PFAS材料以及特氟龍涂層;抗腐蝕性能是WEH®的4~8倍,適用于更嚴(yán)苛的制程環(huán)境。

日揚(yáng)科技
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上海日揚(yáng)WEH®實(shí)驗(yàn)室介紹



涂層實(shí)用案例

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Q

如何知道該涂層是否適合我?

一般來(lái)說,如果您遇到以下幾種情況,可以考慮日揚(yáng)科技真空納米涂層:

1.真空系統(tǒng)中,真空泵和管路經(jīng)常堵塞、被腐蝕從而需要頻繁的停機(jī)維護(hù)。

2.工廠面臨產(chǎn)線和設(shè)備升級(jí),需要實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)期的降本增效。

3.目標(biāo)客戶有著高標(biāo)準(zhǔn)的環(huán)保要求,需要降低工廠有害物質(zhì)特別是含氟物質(zhì)排放。

4.一般的拋光、電鍍、鍍膜等等材料表面處理工藝無(wú)法滿足制程要求,可選用特殊涂層實(shí)現(xiàn)防腐蝕性能。

5.除真空制程外,一般的化工、船舶、工業(yè)品生產(chǎn),也可以考慮涂裝,以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的防腐蝕、防粘連性能。

A

Q

涂層產(chǎn)品有經(jīng)過市場(chǎng)驗(yàn)證嗎?

WEH®涂層一經(jīng)問世便通過了接觸角、粗糙度、疏水性、劃格硬度、耐腐蝕性、熱穩(wěn)定性、等離子蝕刻、沉積物對(duì)比等等測(cè)試,包括提供了EDX/XPS材料表面含氟測(cè)試結(jié)果與選擇性成膜實(shí)驗(yàn)結(jié)果,均由第三方檢測(cè)供應(yīng)商提供數(shù)據(jù),相較于同類別涂層,WEH®取得了優(yōu)異的成果。目前,國(guó)內(nèi)不少zhiming晶圓廠在排氣管線、干泵/渦輪泵上均有上機(jī)實(shí)用,以替代傳統(tǒng)3M3700,目前來(lái)看,日揚(yáng)研制的WEH®涂層產(chǎn)品有5年以上的實(shí)驗(yàn)和市場(chǎng)驗(yàn)證,可放心選擇。

A

Q

如何驗(yàn)證對(duì)我們的制程或設(shè)備有作用?

WEH®或NFH®涂層在不同的制程環(huán)境下表現(xiàn)不同,不同的溫度、特氣、壓力、結(jié)構(gòu)、反應(yīng)物甚至包括設(shè)備操作流程都會(huì)對(duì)涂層產(chǎn)品性能產(chǎn)生一定的影響,另外很多廠商也會(huì)考慮成本投入和產(chǎn)出的效益,擔(dān)心上機(jī)涂裝后,性價(jià)比較低,這一切顧慮都將由日揚(yáng)來(lái)解決!自今日起,我們將在有意咨詢的廠商內(nèi),限定qian10名,免費(fèi)承擔(dān)一定體積產(chǎn)品的打樣/試用費(fèi)用,您們將設(shè)備與零件寄過來(lái),我們免費(fèi)涂裝交于廠商試用,提供全程技術(shù)支持,取得優(yōu)秀的防堵塞、防腐蝕效果驗(yàn)證后,再考慮是否采用日揚(yáng)涂層產(chǎn)品。



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